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第九五六章 研发极紫外光 (3 / 4)_

        “汤普森院长预测光源研究所,能在多长的时间内研制成功极紫外光?”

        孙健心中一喜,他不是不想投资研制极紫外光,而是担心投资太大,即使研制成功,没有配套的光学系统和相适应的光刻胶、掩膜版等,gca也生产不出euv光刻机!

        前世,举国之力研制13.5nm的euv光源也没有结果,在世界上只有asml控股的cymer才能生产euv光源,可见难度之大!

        在光刻机光源方面,光刻机光源后起之秀cymer如今还不是gca的对手。

        cymer前世能成为光刻机光源的霸主,除了被asml收购后不断投入巨资研发外,也有asml将收购的gca光刻机光源研究所并入cymer光刻机光源研究院,强强联合。

        前世,极紫外光技术的研发成功,不知道汤普森院长在其中发挥的作用?

        gca光刻机半导体研究院的研究重心应该放在技术领先的arf准分子激光器和krf光刻胶研制上。

        gca与ibm同是sematech会员,赢者通吃,避免重复研究,不担心ibm卡b子,ibm垄断krf光刻胶十几年,但不知道什么原因?前世是信越化学等日本公司在光刻胶上一枝独秀,还卡了韩国人的脖子!

        “孙董事长,只要能保障光源研究所的研发经费,我保证光源研究所三年内研制成功极紫外光。”

        “汤普森院长,光源研究所需要多少研发经费?”

        汤普森院长不是年轻人,敢打包票,就说明有绝对的把握,重生者不怕花钱!一旦攻克了euv,能否生产euv光刻机?gca都会成为光刻机行业的领导者!

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