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第一三八六章 光刻机的现状(下) (1 / 3)_

        “董事长,要是nikon在我们之前,率先攻克157nm激光器技术,率先研发成功65nm制程工艺的光刻机,我们如何应对?”

        cto汤普森知道euv光刻机不是短时间内能研制成功的,也主张两条腿走路,gca研究院如今也在研发157nm激光器,由于gca一直以研发euv为主,157nm激光器的技术远不如nikon和svg,投资10美元,要是能够收购svg,拿到svg独有的157nm激光器需要配置的反折射镜头技术,不能反超nikon,也能同nikon并肩齐驱。

        孙董事长不同意公司收购svg,汤普森也不理解。

        euvllc联盟规划投资2亿美元,集合200多位顶尖科学家,目的就是从理论上验证了euv光刻机的可行性?理论验证完成后,euvllc联盟将宣布解散,将研制euv和euv光刻机的难题交给gca,据同行在一起估算,研发投资起码要花50亿美元!

        汤普森领导euvllc联盟的200多位科学家,研究了2年多,还没有验证清楚euv光刻机的可行性?

        “汤普森院长的担忧也有道理,除了加强研发力量继续研究157nm激光器技术外,艾德里安先生可以同papken先生接触一下,看对方是否愿意出售反折射镜头技术的专利?价格可以商量”

        papken是svg的首席执行官。

        孙健本来不想在董事会上谈论收购svg的事情,但汤普森的提问代表gca高层的疑惑,不得不正面回应。

        当时因为bsec研究院光源研究所还没有研发成功193nm浸没式光刻机技术,孙健不反对gca研究院两条腿走路,但bsec研究院光源研究所去年已经研发成功193nm浸没式光刻机技术,gca再继续投入巨资研发157nm激光器就是多此一举,但也不能打击众人的积极性。

        “好的,董事长!”

        艾德里安心里好奇,为什么孙董事长不同意收购svg?似乎对研发157nm激光器技术不是特别支持,难道还有更好的方法?明白papken不会低价出售反折射镜头技术的专利。

        “汤普森院长,euvllc联盟一旦从理论上验证了euv光刻机的可行性后,要是gca继续研发euv光刻机,理论上大概需要多少投资”

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